一般工业技术

本书的主要内容包括:超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接 驱动的基本理论和技术;超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值 计算的理论与方法;超精密气浮定位工作台的动...

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