系统动力

《超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制》陈学东,何学明叶燚玺【pdf】

本书的主要内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接 驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值 计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动...